平面度檢查儀是一種用于檢測平面度的精密測量儀器，廣泛應用于航空航天、機械、汽車、電子、化工等各個領域中，是現代工業生產中的檢測設備之一。

　　平面度是指測量平面與正常方向的偏離程度，它是表征一個平面表面平整度和平面面積大小的物理量。一般來說，平面度要求越高，制造成本就越高，因為需要采用更加精細的加工工藝和更高精度的機床設備。因此，對于一些高精度零部件的生產，平面度的檢測就顯得尤為重要。

　　二、原理

　　平面度檢查儀的檢測原理基于激光干涉儀測量原理。

　　光束從光源出發，經過聚光透鏡在被測物體表面形成一束平行光。光波經該光路中光學元件后形成兩股波，透過被測平面后再聚焦，光波再次干涉并聚集于檢測器上。檢測器檢測光強度差值，進而計算出光程差和被測平面的表面形態。

　　三、技術指標

　　1、分辨率

　　以光束的直徑為單位，表示平面度檢查儀上顯示的數字精度。

　　2、重復性

　　重復性指同一被測物測量多次得到的結果間的接近程度。

　　3、線性度

　　線性度指檢測儀在一定的測量范圍內輸出值與被測值之間的偏差程度。

　　4、穩定性

　　穩定性表示檢測儀在不同溫度、濕度、震動等條件下，輸出值變化的程度。

　　5、測量范圍

　　測量范圍指測量儀器能夠檢測的被測平面的大小范圍。

　　四、應用領域及維護保養

　　1、應用領域

　　平面度檢查儀廣泛應用于航空航天、機械、汽車、電子、化工等各個領域中，主要用于檢測高精度零部件的平面度。

　　2、維護保養

　　（1）平面度檢查儀不得強震或撞擊，避免造成損壞。

　　（2）檢查儀器各部件的接頭、固定螺絲是否松動或損壞，及時處理。

　　（3）避免高溫、潮濕、腐蝕等情況，存放前需做好防護工作，并定期檢查儀器的存放環境。

　　（4）使用前要注意校準，確保檢測精度。

　　（5）使用完畢后，應將檢測儀器清潔干凈并保存在干燥、防塵的地方。